X-ray lithography and applications of soft X-rays to technology - October 19-20, 1983, Upton, New York
- Författare
- (Alan D. Wilson, chairman/ed.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| cop. 1984 | USA, Bellingham, Wash | 140 sidor. diagr., ill., tab. |